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超纯水器(外文译名 Ultra-pure water)，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级紫外杀菌处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
超纯水的电阻率可大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。
超纯水机又称做:超纯水机、超纯水设备、超纯水仪、超纯水系统、实验室超纯水器等。
预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)
预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)